外延
半导体
制作
风格（视觉艺术）
材料科学
工程物理
光电子学
纳米技术
物理
艺术
文学类
医学
替代医学
病理
图层（电子）
出处
期刊：Graduate texts in physics
日期：2020-01-01
被引量：22
标识
DOI：10.1007/978-3-030-43869-2
摘要
The second extended edition of this textbook gives a tutorial-style introduction to semiconductor fabrication, with examples, exercises and solutions. It gives elementary introductions to the theory and practice of epitaxial growth, supported by references and over 290 detailed illustrations.
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