Fast and precise positioning of electrostatically actuated dual-axis micromirror by multi-loop digital control

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作者
Yi Zhao,Francis E. H. Tay,Guangya Zhou,Fook Siong Chau
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
卷期号:132 (2): 421-428 被引量:24
标识
DOI:10.1016/j.sna.2006.02.027
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