Atomic layer deposition of Y2O3 and yttrium-doped HfO2 using a newly synthesized Y(iPrCp)2(N-iPr-amd) precursor for a high permittivity gate dielectric

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作者
Jae‐Seung Lee,Woo‐Hee Kim,Il‐Kwon Oh,Min‐Kyu Kim,Gyeongho Lee,Chang-Wan Lee,Jusang Park,Clément Lansalot‐Matras,Wontae Noh,Hyungjun Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:297: 16-21 被引量:61
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2014.01.032
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