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Growth of piezoelectric thin films by sputtering

材料科学 退火(玻璃) 薄膜 无定形固体 微观结构 溅射 溅射沉积 钛酸铅 复合材料 化学工程 矿物学 铁电性 光电子学 纳米技术 结晶学 化学 工程类 电介质
作者
Denis Rémiens,B. Jaber,Pierre-Yves Jouan
出处
期刊:Journal de physique [EDP Sciences]
卷期号:04 (C2): C2-112
标识
DOI:10.1051/jp4:1994213

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