Growth of boron-doped diamond-like carbon films from a low-pressure high-density plasma in inductively coupled chemical vapour deposition

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作者
Sucharita Saha,Debajyoti Das
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:797: 140362-140362 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2024.140362
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