Electroluminescence from Er-doped GeO2 nanofilms fabricated by atomic layer deposition on silicon: Effect of annealing temperature on film properties

材料科学 退火(玻璃) 电致发光 兴奋剂 无定形固体 光电子学 原子层沉积 非晶硅 纳米技术 薄膜 图层(电子) 晶体硅 复合材料 化学 结晶学
作者
Rui Ma,Zhimin Yu,Zejun Ye,Yang Yang,Jiaming Sun
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:639: 158187-158187 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.158187
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