Mechanism of photo-assisted atomic layer etching of chlorinated Si(111) surfaces: Insights from DFT/TDDFT calculations

材料科学 蚀刻(微加工) 解吸 激发态 密度泛函理论 等离子体 反应离子刻蚀 等离子体刻蚀 光子 光子能量 图层(电子) 原子物理学 化学物理 纳米技术 计算化学 物理化学 化学 吸附 光学 物理 量子力学
作者
Peizhi Wang,Marco Castelli,Fengzhou Fang
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:153: 107169-107169 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2022.107169

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