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Quantum chemical calculation and growth process of Ga2O3 grown via TEGa under different oxygen sources in MOCVD
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作者
Jie Wang,
Tiecheng Luo,
Zhuo Yang,
Yicong He,
Jian Li,
Gang Wang
出处
期刊：
CrystEngComm
[Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：25 (19): 2925-2938
被引量：1
标识
DOI：10.1039/d3ce00310h
摘要
The chemical reaction pathway and growth process of Ga 2 O 3 grown via TEGa and H 2 O/O 2 /N 2 O in MOCVD were investigated.
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