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Optimization of deposition uniformity during silicon epitaxy in deep trenches

外延沉积（地质）硅光电子学材料科学纳米技术地质学沉积物古生物学图层（电子）

作者

A.S. Segal,E.V. Yakovlev,D. Bazarevskiy,Р.А. Талалаев,H. Ziad,Jelle Genne,G.E.J. Koops,Johan Meersman,F. De Pestel,M. Tack

出处

期刊：Semiconductor Science and Technology [IOP Publishing]
日期：2018-11-29 卷期号：34 (2): 024001-024001 被引量：2

标识

DOI：10.1088/1361-6641/aaf4eb

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