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Using the acetylacetonates of zinc and aluminium for the Metalorganic Chemical Vapour Deposition of aluminium doped zinc oxide films

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作者
Abdelkader Nebatti Ech‐Chergui,Christian Pflitsch,Benjamin Curdts,Burak Atakan
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2015-06-11 卷期号：39: 467-475 被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2015.05.053
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