Investigation of sputtering pressure on physical properties of CuO films and the electrical properties-temperature relationship of CuO films and p-CuO/n-GaN heterojunction

材料科学异质结溅射整改光电子学溅射沉积霍尔效应半导体电阻率和电导率薄膜电压纳米技术电气工程工程类

作者

Guojiao Xiang,Yijian Zhou,Wenbo Peng,Yue Liu,Jiahui Zhang,Jinming Zhang,Haoxuan Huang,Mengyan Mei,Hui Wang,Yang Zhao

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2022-09-11 卷期号：152: 107082-107082 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2022.107082

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