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Innovative process to obtain thin films and micro-nanostructured ZrN films from a photo-structurable ZrO2 sol-gel using rapid thermal nitridation
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作者
Victor Vallejo-Otero,
Nicolas Crespo‐Monteiro,
Arnaud Valour,
Christophe Donnet,
Stéphanie Reynaud,
Nadège Ollier,
M. F. Blanc Mignon,
J. P. Chatelon,
Yannick Bleu,
Émilie Gamet,
Yves Jourlin
出处
期刊：
Materials today advances
[Elsevier]
日期：2023-09-29
卷期号：20: 100430-100430
被引量：4
链接
doi.org
hal.science
hal.science
doaj.org
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mtadv.2023.100430
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