Innovative process to obtain thin films and micro-nanostructured ZrN films from a photo-structurable ZrO2 sol-gel using rapid thermal nitridation

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作者
Victor Vallejo-Otero,Nicolas Crespo‐Monteiro,Arnaud Valour,Christophe Donnet,Stéphanie Reynaud,Nadège Ollier,M. F. Blanc Mignon,J. P. Chatelon,Yannick Bleu,Émilie Gamet,Yves Jourlin
出处
期刊:Materials today advances [Elsevier BV]
卷期号:20: 100430-100430 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.mtadv.2023.100430
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