Ultrasonic vibration-assisted grinding of quartz glass micro-hole

研磨 石英 超声波传感器 材料科学 振动 复合材料 声学 物理
作者
Yanjun Lu,Mingrong Guo,Yongqi Dai,Qiang Wang,Hu Luo,Yongbo Wu
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2024.09.021
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