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Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure

等离子体计算机模拟计算物理学电子密度材料科学旋转对称性联轴节（管道）机械电子等离子体参数毫米原子物理学功率（物理）物理模式（计算机接口）钻石温度电子氢光学过程（计算）细胞内颗粒等离子体诊断衰减磁场

作者

Xue Liu,Cuiting Zhang,Xianyi Lv,Qiliang Wang,Liuan Li,G. Zou

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2026-02-05 卷期号：247: 115159-115159

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2026.115159

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