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A two directional electrostatic comb-drive X–Y micro-stage for MOEMS applications

梳状致动器 绝缘体上的硅 材料科学 光栅扫描 薄脆饼 微透镜 制作 光学 栅栏 电压 光电子学 硅 电气工程 物理 工程类 医学 替代医学 病理 镜头（地质）
作者
Karolina Laszczyk,Sylwester Bargiel,Christophe Gorecki,Jerzy Krężel,P. Dziuban,Małgorzata Kujawińska,Damien Callet,Sven Frank
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2010-07-02 卷期号：163 (1): 255-265 被引量：45
标识
DOI：10.1016/j.sna.2010.06.020
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