OES and FTIR diagnostics of HMDSO/O2 gas mixtures for SiOx deposition assisted by RF plasma

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作者
M. Goujon,Thierry Belmonte,G. Henrion
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:188-189: 756-761 被引量:88
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2004.07.048
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