Roll‐to‐Roll Dry Transfer of Large‐Scale Graphene

石墨烯 材料科学 化学气相沉积 纳米技术 晶体管 光电子学 电气工程 电压 工程类
作者
Nan Hong,Dmitry Kireev,Qishen Zhao,Dongmei Chen,Deji Akinwande,Wei Li
出处
期刊:Advanced Materials [Wiley]
卷期号:34 (3) 被引量:50
标识
DOI:10.1002/adma.202106615
摘要

A major challenge for graphene applications is the lack of mass production technology for large-scale and high-quality graphene growth and transfer. Here, a roll-to-roll (R2R) dry transfer process for large-scale graphene grown by chemical vapor deposition is reported. The process is fast, controllable, and environmentally benign. It avoids chemical contamination and allows the reuse of graphene growth substrates. By controlling tension and speed of the R2R dry transfer process, the electrical sheet resistance is achieved as 9.5 kΩ sq-1 , the lowest ever reported among R2R dry transferred graphene samples. The R2R dry transferred samples are used to fabricate graphene-based field-effect transistors (GFETs) on polymer. It is demonstrated that these flexible GFETs feature a near-zero doping level and a gate leakage current one to two orders of magnitude lower than those fabricated using wet-chemical etched graphene samples. The scalability and uniformity of the R2R dry transferred graphene is further demonstrated by successfully transferring a 3 × 3 in2 sample and measuring its field-effect mobility with 36 millimeter-scaled GFETs evenly spaced on the sample. The field-effect mobility of the R2R dry transferred graphene is determined to be 205 ± 36 cm2 V-1 .

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