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Atomic Layer Deposition of Al-Doped ZnO Contacts for ZnO Thin-Film Transistors

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作者
Ben Daniel Rowlinson,Jie Zeng,J.D. Akrofi,Christian Patzig,Martin Ebert,Harold M. H. Chong
出处
期刊：IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/led.2024.3382408
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