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Evaluation of anti-adhesive and corrosion protection properties of TiAlSiN-magnetron-sputtered films for applications in polymer processing

腔磁控管 材料科学 胶粘剂 腐蚀 聚合物 材料加工 复合材料 溅射沉积 冶金 薄膜 纳米技术 工程类 溅射 工艺工程 图层（电子）
作者
Chantal Theile‐Rasche,Fuzeng Wang,Tim Prüßner,Marten Huck,Hans‐Georg Steinrück,Teresa de los Arcos,Guido Grundmeier
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 140676-140676 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2025.140676
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