Piezoelectric Biosensor based on ultrasensitive MEMS system

微电子机械系统 生物传感器 压电 纳米技术 材料科学 工程类 电子工程 电气工程
作者
Ji‐Huan He,Chun‐Hui He,Man-Yu Qian,Abdulrahman Ali Alsolami
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:376: 115664-115664 被引量:50
标识
DOI:10.1016/j.sna.2024.115664
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