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Fabrication of micro/nano multifunctional patterns on optical glass through chalcogenide heat-mode resist AgInSbTe

抵抗 材料科学 制作 硫系化合物 等离子体刻蚀 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 干法蚀刻 光电子学 纳米光刻 激光器 纳米技术 光刻 光学 图层（电子） 医学 物理 替代医学 病理
作者
Guodong Chen,Jinlun Zheng,Zhengwei Wang,Kui Zhang,Zhichang Mo,Xing Liu,Tianyu Gao,Yang Wang,Jingsong Wei
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2021-02-02 卷期号：867: 158988-158988 被引量：27
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2021.158988
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