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Intrinsic Point Defects and Their Control in Silicon Crystal Growth and Wafer Processing

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作者
R. Falster,V. V. Voronkov
出处
期刊：Mrs Bulletin [Springer Nature]
日期：2000-06-01 卷期号：25 (6): 28-32 被引量：17
标识
DOI：10.1557/mrs2000.95
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