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Characterization of iridium oxide thin films deposited by pulsed-direct-current reactive sputtering

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作者

Sachin S. Thanawala,Daniel G. Georgiev,Ronald J. Baird,Gregory W. Auner

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2007-02-28 卷期号：515 (18): 7059-7065 被引量：48

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2007.02.090

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