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Nano fabricated silicon nanorod array with titanium nitride coating for on-chip supercapacitors

材料科学 纳米棒 深反应离子刻蚀 超级电容器 硅 锡 氮化钛 纳米技术 原子层沉积 钛 电极 蚀刻（微加工） 光电子学 涂层 电容 图层（电子） 反应离子刻蚀 氮化物 冶金 化学 物理化学
作者
Pai Lu,Per Øhlckers,Lutz Müller,Steffen Leopold,Martin Hoffmann,Kestutis Grigoras,Jouni Ahopelto,Mika Prunnila,Xuyuan Chen
出处
期刊：Electrochemistry Communications [Elsevier BV]
日期：2016-07-04 卷期号：70: 51-55 被引量：49
链接
handle.net usn.nodoi.org
标识
DOI：10.1016/j.elecom.2016.07.002
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