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On the Atomic Layer Deposition of Tantalum Oxide for Field Effect Sensors

原子层沉积 材料科学 沉积（地质） 钽 图层（电子） 光电子学 氧化物 场效应 领域（数学） 氧化铝 分析化学（期刊） 化学工程 双层（生物学） 原子氧
作者
V. P. Grudtsov,E. M. Eganova,O. V. Gubanova,A V Goryachev,K. V. Puchnin,D.V. Ryazantsev,A.E. Kuznetsov,N. V. Komarova
出处
期刊：Semiconductors [Springer Nature]
日期：2024-12-01 卷期号：58 (S1): S13-S18 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s1063782625700034
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