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Trapping threading dislocations in germanium trenches on silicon wafer

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作者

Xueying Zhao,Rui‐Tao Wen,Brian R. Albert,Jürgen Michel

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2020-05-01 卷期号：543: 125701-125701 被引量：6

链接

sciencedirect.comdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2020.125701

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