Effects of post bonding annealing on GaAs//Si bonding interfaces and its application for sacrificial-layer-etching based multijunction solar cells

退火（玻璃） X射线光电子能谱材料科学溶解阳极连接硅蚀刻（微加工）光电子学表面粗糙度图层（电子）化学工程纳米技术复合材料工程类

作者

Naoteru Shigekawa,Ryo Kozono,Sanji Yoon,Tomoya Hara,Jianbo Liang,Akira Yasui

出处

期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2020-03-11 卷期号：210: 110501-110501 被引量：9

链接

sciencedirect.com ac.jp ac.jpdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.solmat.2020.110501

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