SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
Fabrication and oxidation of amorphous Zr-based alloy for imprint lithography
纳米压印光刻
材料科学
无定形固体
平版印刷术
制作
溅射沉积
纳米技术
腐蚀
溅射
冶金
光电子学
薄膜
病理
替代医学
医学
有机化学
化学
作者
Mingjie Li,
Wenxin Luo,
Jingfu Xu,
Juan Zhang,
Kar Wei Ng,
Xing Cheng
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2022-01-21
卷期号：256: 111722-111722
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.mee.2022.111722
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
里奥
完成签到，获得积分
10
2秒前
小城故事和冰雨
发布了新的
文献求助
10
5秒前
晚风
完成签到
，获得积分
10
7秒前
香蕉觅云
上传了
应助文件
7秒前
FashionBoy
上传了
应助文件
8秒前
承宣
完成签到，获得积分
10
8秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
9秒前
赘婿
上传了
应助文件
9秒前
魏俏红
完成签到，获得积分
10
9秒前
脑洞疼
上传了
应助文件
9秒前
飞跃云栖竹径的幸福地精
发布了新的
文献求助
30
10秒前
爆米花
的
应助
被
文艺的易绿
采纳，获得
10
10秒前
ZhaohuaXie
上传了
应助文件
11秒前
魏俏红
发布了新的
文献求助
10
13秒前
疯狂的聋五
发布了新的
文献求助
30
13秒前
科研通AI6.3
的
应助
被
Linly
采纳，获得
10
13秒前
==
发布了新的
文献求助
10
14秒前
ZRY
发布了新的
文献求助
10
15秒前
任雨净
发布了新的
文献求助
10
16秒前
传奇3
的
应助
被
卷卷
采纳，获得
10
17秒前
Owen
上传了
应助文件
18秒前
zhuhaot
发布了新的
文献求助
50
18秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
19秒前
锅包肉
完成签到
，获得积分
10
19秒前
王橙子
完成签到，获得积分
10
20秒前
星辰大海
上传了
应助文件
20秒前
Oyama
的
应助
被
调皮听云
采纳，获得
30
21秒前
zjj
发布了新的
文献求助
10
21秒前
传奇3
的
应助
被
刘冠廷
采纳，获得
10
23秒前
文艺的易绿
完成签到，获得积分
10
23秒前
daemon850121
发布了新的
文献求助
10
25秒前
我爱陶子
发布了新的
文献求助
10
26秒前
体贴老头
完成签到
，获得积分
10
30秒前
潇洒的惋清
上传了
应助文件
35秒前
昏睡的人
完成签到
，获得积分
10
37秒前
调皮的幻梅
完成签到
，获得积分
10
40秒前
CodeCraft
的
应助
被
机智的誉
采纳，获得
10
42秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
43秒前
赵一
发布了新的
文献求助
10
45秒前
jinli
的
应助
被
卢羿廷
采纳，获得
10
45秒前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Development of a Bridge Weigh-In-Motion System: A technology to convert the bridge response to the passage of traffic into data on vehicle configurations, speeds, times of travel and weights
1000
Molecular Mechanisms of Photosynthesis, 4th Edition
1000
Organic Reactions, Volume 116
1000
Current concepts in cutaneous toxicity : proceedings of the Fourth Conference on Cutaneous Toxicity, Washington, D.C., May 9-11, 1979
1000
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7263004
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8884193
关于积分的说明
18776125
捐赠科研通
6941888
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3202563
关于科研通互助平台的介绍
2375682
邀请新用户注册赠送积分活动
2178337
今日热心研友
Kao
679
4280
Copyright
393
5840
cdercder
403
4780
毛豆
462
3270
无极微光
135
4270
东方元语
232
3240
Nexus
77
3140
yjh123
127
2590
孤独的甜瓜
238
1370
OK
3040
Zephyrite
147
960
zp560
2000
arniu2008
45
1450
Dean
1880
Criminology34
65
1120
BigTong
166
学术文献互助
1630
潇洒的惋清
156
乐空思
1300
lizishu
1270
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
cdercder
毛豆
无极微光
东方元语
Nexus
yjh123
孤独的甜瓜
OK
Zephyrite
zp560
arniu2008
Dean
Criminology34
BigTong
学术文献互助
潇洒的惋清
乐空思
lizishu
皖公网安备34019202002308
