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Optimization of Ga2O3 thin film growth via magnetron sputtering: Influence of growth pressure on crystallinity, surface morphology, and optical properties

结晶度 形态学(生物学) 材料科学 溅射沉积 化学工程 薄膜 溅射 复合材料 纳米技术 地质学 工程类 古生物学
作者
Ziwei Guo,Yamei Mao
出处
期刊:Vacuum [Elsevier]
卷期号:234: 114057-114057 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114057
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