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Precise and smooth structure on InP fabricated by femtosecond laser direct writing-assisted wet etching

飞秒蚀刻（微加工）材料科学激光器光电子学反应离子刻蚀纳米技术光学物理图层（电子）

作者

Jingyuan Zhu,Qiankun Li,Qi‐Dai Chen,Boshen Liu,Zhipeng Wei

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2024-04-08 卷期号：176: 110944-110944 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2024.110944

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