High-purity and very low oxygen content MgF2 thin films by newly designed plasma-enhanced atomic layer deposition

原子层沉积 材料科学 薄膜 图层(电子) 沉积(地质) 氧气 光电子学 分析化学(期刊) 原子氧 化学工程 薄层 脉冲激光沉积 基质(水族馆) 原子力显微镜
作者
Zhi-Xuan Zhang,Xiao Lin,Jing Zhang,Wen-Xuan Zhu,Peng Gao,Yu Qiu,Chia‐Hsun Hsu,Zhi-Xian Lin,Shui-Yang Lien,Chen Wang,Wan-Yu Wu,Dong-Sing Wuu
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:535: 133714-133714
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2026.133714
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
singsong发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
执着的枫叶完成签到 ,获得积分10
1秒前
小何发布了新的文献求助10
1秒前
领导范儿应助u3u采纳,获得10
1秒前
仰望星空发布了新的文献求助10
2秒前
Lele发布了新的文献求助10
2秒前
suha发布了新的文献求助10
2秒前
LIN发布了新的文献求助10
4秒前
ZHEN发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
5秒前
LHR发布了新的文献求助10
5秒前
念安发布了新的文献求助10
7秒前
9秒前
阳阳得亿发布了新的文献求助10
9秒前
南墙杀手完成签到 ,获得积分10
10秒前
kkk完成签到,获得积分20
10秒前
酷波er应助ZHEN采纳,获得10
11秒前
12秒前
贪玩的秋柔应助RC_Wang采纳,获得10
12秒前
NexusExplorer应助赵彬旭采纳,获得10
12秒前
12秒前
13秒前
七听发布了新的文献求助30
13秒前
13秒前
彩色孤晴完成签到,获得积分10
14秒前
深情安青应助念安采纳,获得10
16秒前
16秒前
lkz发布了新的文献求助30
17秒前
17秒前
LIN完成签到,获得积分10
17秒前
小二郎应助小何采纳,获得10
17秒前
甜甜曼凡发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
anthony发布了新的文献求助10
19秒前
20秒前
21秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
内視鏡的に摘除しえた十二指腸乳頭部腫瘍の2例 660
On nonlinear stability of contact discontinuities. In: Hyperbolic problems: theory, numerics, applications (Stony Brook, NY, 1994) 510
Management and the Arts 510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
微电子器件实验教程 400
The Neuroscience of Language 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7679759
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9244457
关于积分的说明 19929407
捐赠科研通 7250172
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3287364
关于科研通互助平台的介绍 2445215
邀请新用户注册赠送积分活动 2290678