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Enhancing the electric charge output in LiNbO3-based piezoelectric pressure sensors

压电 灵敏度（控制系统） 材料科学 压电传感器 电荷（物理） 压力传感器 光电子学 声学 电子工程 物理 工程类 复合材料 热力学 量子力学
作者
Wenhao Xu,Wenping Geng,Huiyi Zhang,Wenxiao Fu,Zihan Wang,Jiahe Li,Xiaojun Qiao,Yichi Zhang,Xiujian Chou
出处
期刊：RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：14 (12): 8313-8321 被引量：6
链接
rsc.org rsc.org nih.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3ra07712h
摘要
LiNbO 3 is used to prepare a piezoelectric pressure sensor and its sensitivity is significantly improved via heterogeneous integration.
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