Investigation on Localized Etching Behaviors of Polymer Film by Atmospheric Pressure Plasma Jets

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作者
Tao Wang,Xin Wang,Jiahao Wang,Shengquan Wang,Weizhi Yang,Meng Li,Liping Shi
出处
期刊:Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Science+Business Media]
标识
DOI:10.1007/s11090-023-10315-0
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