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Investigation on Localized Etching Behaviors of Polymer Film by Atmospheric Pressure Plasma Jets
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作者
Tao Wang,
Xin Wang,
Jiahao Wang,
Shengquan Wang,
Weizhi Yang,
Meng Li,
Liping Shi
出处
期刊：
Plasma Chemistry and Plasma Processing
[Springer Science+Business Media]
日期：2023-02-13
卷期号：43 (3): 679-696
被引量：7
标识
DOI：10.1007/s11090-023-10315-0
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