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Preparation of SiC/SiO2 Hard Core–Soft Shell Abrasive and Its CMP Behavior on Sapphire Substrate

材料科学化学机械平面化磨料蓝宝石碳化硅抛光薄脆饼基质（水族馆）硅复合材料涂层表面粗糙度冶金光电子学光学激光器地质学物理海洋学

作者

Sanwei Dai,Hong Lei,Jifang Fu

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2019-10-18 卷期号：49 (2): 1301-1307 被引量：23

标识

DOI：10.1007/s11664-019-07683-9

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