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作者
F. M. Collins,Wayne A. Anderson,E. M.
出处
期刊：Wiley Encyclopedia of Electrical and Electronics Engineering
日期：1999-12-27
被引量：1
标识
DOI：10.1002/047134608x.w6832
摘要
Abstract The sections in this article are Historical Development Design Concepts Wafer‐Scale Fabrication Materials Finished Formats Performance Characteristics Summary of the Advantages of Thin Film, Integrated Resistor Construction Nicr Thin Film Resistors Tantalum Nitride Thin Film Resistors Ruthenium Oxide Thin Film Resistors Double‐Layer Ruo 2 /Ta 2 N Thin Film Resistors Conclusion
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