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Chemical vapor deposition and homogeneous nucleation in monosilane pyrolysis within interparticle spaces -application of fines formation analysis to fluidized bed CVD-

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作者

Takehiko Furusawa,Toshinori Kojima,Hiroyuki Hiroha

出处

期刊：Chemical Engineering Science [Elsevier BV]
日期：1988-01-01 卷期号：43 (8): 2037-2042 被引量：36

标识

DOI：10.1016/0009-2509(88)87081-7

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