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A study on the influence of ligand variation on formamidinate complexes of yttrium: new precursors for atomic layer deposition of yttrium oxide

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作者
Sebastian Beer,Nils Boysen,Arbresha Muriqi,David Zanders,Thomas Berning,Detlef Rogalla,Claudia Bock,Michael Nolan,Anjana Devi
出处
期刊：Dalton Transactions [Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：50 (37): 12944-12956 被引量：12
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d1dt01634b
摘要
Side chain variation of yttrium formamidinates yielding thermally stable precursor for water assisted ALD of dielectric Y2O3 thin films.
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