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作者
Zhixin Geng,
Xiaoniu Li,
Zhiyi Wen,
D. C. Fang,
Boquan Wang,
Xiaopin Hu,
Dawei Wu
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2023-12-15
卷期号：86: 294-304
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2023.12.004
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