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Analysis of reliability characteristics of high capacitance density MIM capacitors with SiO2–HfO2–SiO2 dielectrics

电容器 电容 电介质 可靠性（半导体） 材料科学 光电子学 高-κ电介质 电气工程 化学 物理 工程类 电极 功率（物理） 电压 物理化学 量子力学
作者
Sang-Uk Park,Chang-Yong Kang,Hyuk-Min Kwon,Byung-Seok Park,Won‐Ho Choi,In‐Shik Han,G. Bersuker,Raj Jammy,Hi‐Deok Lee
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2010-01-29 卷期号：88 (12): 3389-3392 被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.mee.2010.01.012
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