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Effect of Composition on Electrical Properties of Multifunctional Silicon Nitride Films Deposited at Temperatures below 200℃

材料科学氮化硅氮化物硅作文（语言）纳米技术工程物理光电子学语言学工程类哲学图层（电子）

作者

Wan‐Shick Hong,Ki‐Su Keum,Jae Dam Hwang,Joo Youn Kim

出处

期刊：Korean Journal of Metals and Materials [The Korean Institute of Metals and Materials]
日期：2012-04-05 卷期号：50 (4): 331-337

标识

DOI：10.3365/kjmm.2012.50.4.331

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