SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Effect of Copper TSV Annealing on Via Protrusion for TSV Wafer Fabrication
材料科学
铜
三维集成电路
电子背散射衍射
退火（玻璃）
通过硅通孔
薄脆饼
制作
纳米压痕
扫描电子显微镜
复合材料
光电子学
冶金
集成电路
微观结构
医学
病理
替代医学
作者
A. Heryanto,
Wahyuaji Narottama Putra,
A. Trigg,
Shan Gao,
W.S. Kwon,
F. X. Che,
Xiao Fang Ang,
Jun Wei,
Riko I Made,
Chee Lip Gan,
K. L. Pey
出处
期刊：
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期：2012-05-25
卷期号：41 (9): 2533-2542
被引量：164
链接
handle.net
doi.org
标识
DOI：10.1007/s11664-012-2117-3
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
暂未提供新的相关文献。
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
蓝天
上传了
应助文件
刚刚
小二郎
上传了
应助文件
1秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
1秒前
酷波er
的
应助
被
酷慕儿
采纳，获得
10
2秒前
Layman
完成签到
，获得积分
10
3秒前
ljq
完成签到，获得积分
0
4秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
阿豪
采纳，获得
10
4秒前
时间比较赶
完成签到
，获得积分
10
5秒前
赘婿
的
应助
被
北走
采纳，获得
10
5秒前
笨笨行云
完成签到，获得积分
10
5秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
6秒前
sanlang
完成签到，获得积分
10
6秒前
包容诗槐
完成签到，获得积分
10
6秒前
可妍昇
发布了新的
文献求助
10
7秒前
zrs
发布了新的
文献求助
10
7秒前
俏皮的钻石
完成签到
，获得积分
10
7秒前
阳光的问夏
完成签到，获得积分
10
7秒前
猜不猜不
发布了新的
文献求助
10
8秒前
星辰大海
的
应助
被
不安冰烟
采纳，获得
10
11秒前
wang
完成签到
，获得积分
10
11秒前
zou
完成签到，获得积分
10
11秒前
hu
上传了
应助文件
12秒前
Neutrino
发布了新的
文献求助
20
13秒前
华仔
上传了
应助文件
14秒前
zjxnq
完成签到
，获得积分
10
15秒前
慕青
的
应助
被
Yixinliu
采纳，获得
10
17秒前
星辰大海
上传了
应助文件
17秒前
echo
发布了新的
文献求助
10
18秒前
灵巧的寄风
完成签到，获得积分
10
19秒前
搜集达人
上传了
应助文件
19秒前
ting
发布了新的
文献求助
20
20秒前
赘婿
上传了
应助文件
21秒前
SZL2026
发布了新的
文献求助
20
22秒前
不安冰烟
发布了新的
文献求助
10
23秒前
北走
发布了新的
文献求助
10
24秒前
情怀
上传了
应助文件
24秒前
兴奋的煎饼
发布了新的
文献求助
10
24秒前
369ninja
上传了
应助文件
24秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
25秒前
打打
上传了
应助文件
25秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
拉伸高分子熔体中缠结行为的模拟和小角中子散射研究
1080
Encyclopedia of Modern Artificial Intelligence
1000
Особенности технологий и методов информационно-психологических войн СССР с Великобританией и США в период 1939-1953 гг
1000
Das Matthäusevangelium: Kapitel 1:1–17
1000
Analyses de reconnaissances de dettes passées devant les échevins d'Ypres (1249-1291)
600
Cellulose and Cellulose Derivatives: Synthesis, Modification and Applications
600
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
计算机科学
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
物理
复合材料
内科学
催化作用
光电子学
人工智能
细胞生物学
无机化学
物理化学
数学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
8143360
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9542847
关于积分的说明
21653935
捐赠科研通
7728606
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3422020
关于科研通互助平台的介绍
2547337
邀请新用户注册赠送积分活动
2464829
今日热心研友
嘻嘻哈哈
175
680
null
60
1800
无极微光
63
1690
Maestro_S
82
1190
Nole
104
570
GingerF
1380
秋风
45
850
v0id
48
770
369ninja
42
770
牧青
1100
OK
1100
甜美柏柳
1060
YY
1030
cdercder
57
460
风吹麦浪
45
510
aaaa
16
700
Gp1983
810
L77
660
学术雷锋
64
吃葡萄不吐葡萄皮
540
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
嘻嘻哈哈
null
无极微光
Maestro_S
Nole
GingerF
秋风
v0id
369ninja
牧青
OK
甜美柏柳
YY
cdercder
风吹麦浪
aaaa
Gp1983
L77
学术雷锋
吃葡萄不吐葡萄皮
皖公网安备34019202002308
