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Silicon deposition from silane or disilane in a fluidized bed—Part I: Experimental study

硅烷流化床二硅烷硅集聚经济化学工程沉积（地质）硅烷材料科学化学气相沉积化学纳米技术冶金有机化学工程类古生物学沉积物生物

作者

Brigitte Caussat,M. Hémati,J.P. Couderc

出处

期刊：Chemical Engineering Science [Elsevier BV]
日期：1995-11-01 卷期号：50 (22): 3615-3624 被引量：62

标识

DOI：10.1016/0009-2509(95)00172-2

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