Dopant impurity diffusion from polymer diffusants and its applications in semiconductor device technology. A review

掺杂剂 杂质 扩散 半导体 材料科学 聚合物 半导体器件 光电子学 兴奋剂 纳米技术 工程物理 化学 物理 复合材料 热力学 有机化学 图层(电子)
作者
E. G. Guk
出处
期刊:Semiconductors [Pleiades Publishing]
卷期号:33 (3): 265-265 被引量:4
标识
DOI:10.1134/1.1187676

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