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A study of MgF2 thin film growth in the atomic layer deposition process by multi-scale simulations

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作者
Sung Hoon Lee,Hyunhang Park,Hoon Kim,Minghuang Huang
出处
期刊：Computational Materials Science [Elsevier BV]
日期：2021-02-08 卷期号：191: 110327-110327 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.commatsci.2021.110327
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