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Effect of the Thermal Annealing Temperature on the Composition and Luminescent Properties of Silicon Rich-Nitride (SRN) and -Oxide (SRO) Films

退火（玻璃）材料科学氧化物发光氮化硅硅氧化硅氮化物热的化学工程光电子学纳米技术复合材料热力学冶金物理工程类图层（电子）

作者

A. Morales–Sánchez,José Juan Avilés Bravo,Braulio Palacios Márquez,Karim Monfil Leyva,Mario Moreno,Luis Hernández-Martínez

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DOI：10.1109/cce62852.2024.10770889

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