微电子机械系统
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作者
Yuanyuan He,Pengchao Shen,Yang Liu,Xuefeng He,Quanhua Xie,Yuan Zhou,Mingfu Zhao,Nianbing Zhong
出处
期刊:Measurement
[Elsevier BV]
日期:2025-04-01
卷期号:: 117472-117472
标识
DOI:10.1016/j.measurement.2025.117472
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