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High sensitivity MEMS vibration sensors based on LiNbO3 ferroelectric single-crystal films

材料科学微电子机械系统灵敏度（控制系统）铁电性振动压电光电子学纳米技术声学复合材料电子工程工程类物理电介质

作者

Huiyi Zhang,Xiaohuang Li,Xiaojun Qiao,Huifen Wei,Kaixi Bi,Xiaojuan Hou,Jiliang Mu,Jian He,Xiujian Chou,Wenping Geng

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-02-27 卷期号：51 (16): 21810-21819 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2025.02.342

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