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Fabrication of a GaN-on-diamond HEMT device using 30-mm-square mosaic-diamond substrate

材料科学 制作 无定形固体 光电子学 表面粗糙度 高电子迁移率晶体管 基质(水族馆) 氮化镓 晶体管 氮化物 钻石 金刚石立方 表面光洁度 格子(音乐) 外延 宽禁带半导体 晶片键合 纳米技术 氮化硅 直接结合
作者
Yusuke Shirayanagi,Shingo Tomohisa,Keiji Kasamura,Hiroki Toyoda,Takashi Matsumae,Yuichi Kurashima,Hideki Takagi,A. Kubota,Takashi Takenaga
出处
期刊:Scripta Materialia [Elsevier BV]
卷期号:278: 117260-117260
标识
DOI:10.1016/j.scriptamat.2026.117260

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