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作者
Hao Chen,
Wenzheng Li,
Yingdong Zhao,
Xinyan Huang,
Jialong Zhang,
Peijun Ji,
Jun Zhao,
Pengzhong Chen,
Xiaojun Peng
出处
期刊：
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：3 (5): 543-552
被引量：5
链接
rsc.org
doi.org
标识
DOI：10.1039/d5im00058k
摘要
Tin-oxo clusters (TOCs) are promising candidates for next-generation extreme ultraviolet (EUV) photoresist materials due to their strong EUV absorption properties and small molecular sizes.
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