Influence of the Tin Concentration in Indium Tin Oxide (ITO) Films Deposited by DC Magnetron Sputtering for Touch Panels

氧化铟锡 材料科学 溅射沉积 溅射 腔磁控管 冶金 光电子学 化学工程 纳米技术 薄膜 工程类
作者
Sang Hyun Cho,Hyojin Kim,Sung Ho Lee,Jae Ik Woo,Kyu Ho Song,Pung Keun Song
出处
期刊:Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics [American Scientific Publishers]
卷期号:9 (3): 414-418
标识
DOI:10.1166/jno.2014.1561

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